薄膜生长
2001-9
科学出版社
吴自勤
419
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《薄膜生长/中国科学院研究生教学丛书》集中介绍了薄膜科学中的关键部分——薄膜生长。全书由15章五个方面的内容组成：第一至四章主要从薄膜的角度介绍相平衡和晶体表面原子结构的基础知识。第五至七章主要介绍薄膜中的缺陷和扩散，第八、九章主要介绍薄膜生长的三种模式和成核长大动力学。第十至十三章主要介绍金属薄膜、半导体薄膜、氧化物薄膜的生长和生长中出现的分形现象。第十四、十五章介绍薄膜制备和研究的各种方法。 《薄膜生长/中国科学院研究生教学丛书》不仅系统地介绍了有关薄膜生长的固体物理学知识，而且介绍了薄膜生长的前沿进展和薄膜检测的各种先进方法。 《薄膜生长/中国科学院研究生教学丛书》可作为固体物理、材料科学专业的研究生教学用书，也可供从事薄膜研制和生产的科技人员参考。
第一章 相平衡和界面相1.1 相平衡1.2 元素和合金的相图1.3 固溶体的能量1.4 固溶体的组态脑1.5 界面相1.6 界面曲率半径的影响1.7 晶体表面能、界面能和黏附能1.8 固体表面张力的测定方法1.9 表面能对薄膜稳定性的影响参考文献第二章 晶体和晶体表面的对称性2.1 晶体的对称性2.2 晶体表面的对称性2.3 晶面间距和晶列间距公式2.4 倒易点阵参考文献第三章 晶体表面原子结构3.1 晶体表面的原子结构3.2 表面原子的配位数3.3 表面的台面-台阶-扭折（TLK）结构3.4 邻晶面上原子的近邻数3.5 晶体表面能的各向异性3.6 台阶和台面的粗糙化参考文献第四章 再构表面和吸附表面4.1 再构表面和吸附表面结构的标记4.2 半导体再构表面结构4.3 金属再构表面结构4.4 吸附表面结构4.5 表面相变参考文献第五章 薄膜中的晶体缺陷5.1 密堆积金属申的点缺陷5.2 半导体中的点缺陷5.3 表面点缺陷5.4 位错和层错5.5 孪晶界和其他面缺陷参考文献第六章 外延薄膜中缺陷的形成过程6.1 晶格常数和热膨胀系数的影响6.2 异质外延薄膜中的应变6.3 外延薄膜中的错配位错6.4 岛状薄膜中的应变和错配位错6.5 外延薄膜中其他缺陷的产生参考文献第七章 薄膜中的扩散7.1 扩散的宏观定律和微观机制7.2 短路扩散7.3 半导体晶体中的扩散7.4 短周期超晶格中的互扩散7.5 反应扩散7.6 表面扩散7.7 表面扩散的实验研究方法7.8 电迁移参考文献第八章 薄膜的成核长大热力学第九章 薄膜的成核长大动力学第十章 金属薄膜的生长第十一章 半导体薄膜的生长第十二章 氧化物薄膜的生长第十三章 薄膜中的分形第十四章 薄膜的制备方法第十五章 薄膜研究方法
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