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纳米CMOS器件

甘学温 编 科学出版社
出版时间:

2004-1  

出版社:

科学出版社  

作者:

甘学温 编  

内容概要

《纳米CMOS器件》介绍了微电子技术中的超深亚微米及纳米器件的物理、工艺和器件结构设计等问题。


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