抛光剂配方与生产
2012-11
化学工业出版社
李东光 编
345
《抛光剂配方与生产》收集了200余种抛光剂制备实例，详细介绍了产品的原料配比、制备方法、原料配伍、应用和特性。全书共分为四大部分，分别是：金属抛光剂，半导体、集成电路等电子工业用抛光剂，玻璃、陶瓷、晶体等无机材料用抛光剂，其他抛光剂。
一、金属抛光剂H62黄铜抛光液K金首饰无氰电解抛光液SiSb基相变材料用化学机械抛光液ULSI铜表面高精密加工过程中化学机械抛光液不锈钢化学抛光液（1）不锈钢化学抛光液（2）不锈钢化学抛光液（3）不锈钢制品的化学抛光剂防潮型白抛光膏防冻型抛光液高纯度纳米金刚石抛光膏高纯度纳米金刚石抛光液高精度氧化铝抛光液高浓度Ti阻挡层表面化学机械抛光液高去除率、低损伤的铜化学机械抛光液含氢氟酸的铝型材酸性抛光剂核/壳型复合纳米磨料硅片抛光液核/壳型复合纳米磨料铜化学机械抛光液化学机械抛光液（1）化学机械抛光液（2）化学机械抛光液（3）化学机械抛光液（4）化学机械抛光液（5）化学机械抛光液（6）化学机械抛光液（7）化学机械抛光液（8）化学机械抛光液（9）化学机械抛光液（10）化学机械抛光液（11）化学机械抛光液（12）化学机械抛光液（13）化学机械抛光液（14）化学机械抛光液（15）化学机械抛光液（16）化学机械抛光液（17）化学机械抛光液（18）化学机械抛光液（19）化学机械抛光液（20）化学机械抛光液（21）化学机械抛光液（22）化学机械抛光液（23）化学机械抛光液（24）化学机械抛光液（25）化学机械抛光液（26）化学机械抛光液（27）化学机械抛光液（28）化学机械抛光液（29）化学机械抛光液（30）化学机械抛光液（31）化学机械抛光液（32）化学机械抛光液（33）化学机械抛光液（34）化学机械抛光液（35）化学机械抛光液（36）化学机械抛光液（37）化学机械抛光液（38）化学机械抛光液（39）化学机械抛光液（40）化学机械抛光液（41）化学机械抛光液（42）化学机械抛光液（43）化学机械抛光液（44）化学机械抛光液（45）化学机械抛光液（46）化学机械抛光液（47）化学机械抛光液（48）化学机械抛光液（49）化学机械抛光液（50）化学机械抛光液（51）化学机械抛光液（52）化学机械抛光液（53）化学机械抛光液（54）化学机械抛光液（55）化学机械抛光液（56）化学机械抛光液（57）化学机械抛光液（58）化学抛光剂黄色抛光膏碱性硅晶片抛光液降低铜化学机械抛光粗糙度的抛光液金属表面抛光膏石脑油金属抛光剂矿物油金属抛光剂水溶胶金属抛光液金属铜的抛光液（1）金属铜的抛光液（2）金属振动抛光液铝合金电解抛光液铝合金用抛光液铝和铝合金的化学抛光液铝及铝合金材料抛光液铝及铝合金的电化学抛光液铝制品化学抛光液马氏体高合金耐热钢金相检测抛光剂镁合金用抛光液镁铝合金材料表面化学机械抛光液纳米氧化铈复合磨粒抛光液浓酸抛光剂酸抛光液浅沟槽隔离抛光液取代铜酸洗工艺的处理铜及铜合金表面的抛光液水基金刚石抛光液水基纳米金刚石抛光液钛及钛合金抛光液钛镍合金电化学抛光液钽化学机械抛光液铜抛光中用的纳米二氧化硅磨料抛光液铜制品抛光剂钨抛光液（1）钨抛光液（2）锌和铬加工用的纳米二氧化硅磨料抛光液医用NiTi形状记忆合金抛光液用于不锈钢镜面的抛光液用于化学机械研磨的抛光液用于钽阻挡抛光的化学机械的抛光液用于铜制程的化学机械抛光液（1）用于铜制程的化学机械抛光液（2）用于钨化学机械抛光的抛光液用于氧化钒化学机械抛光的纳米抛光液用于阻挡层抛光的化学机械抛光液有色金属材料表面清洁抛光膏阻挡层化学机械抛光液用于低碳钢纳米压入试样的抛光液200二、半导体、集成电路等电子工业用抛光剂半导体晶片精密化学机械抛光剂半导体锑化铟化学机械抛光液超大规模集成电路多层铜布线化学机械全局平面化抛光液超大规模集成电路多层铜布线中铜与钽的化学机械全局平面化抛光液超大规模集成电路硅衬底的化学机械抛光液超大规模集成电路铝布线抛光液（1）超大规模集成电路铝布线抛光液（2）大尺寸硅片用化学机械抛光液低介电材料抛光液多晶硅化学机械抛光液（1）多晶硅化学机械抛光液（2）多晶硅抛光液高介电材料钛酸锶钡化学机械抛光液高精度复合抛光液高精度抛光液硅单晶衬底材料抛光液含有混合磨料的低介电材料抛光液（1）含有混合磨料的低介电材料抛光液（2）化学机械抛光半导体晶片用的抛光液化学机械抛光单晶氧化镁基片用的抛光液极大规模集成电路多层布线中钨插塞的抛光液集成电路铜互连结构中铜的电化学机械抛光液碱性计算机硬盘抛光液降低硅片表面微划伤的抛光液介电层抛光液晶圆粗抛光液晶圆精抛光液具有特殊缓冲体系的硅片化学机械抛光液可循环使用的抛光液蓝宝石衬底材料CMP抛光液蓝宝石衬底抛光液（1）蓝宝石衬底抛光液（2）蓝宝石衬底加工专用抛光液高效高精度蓝宝石抛光液用于蓝宝石圆棒胶木轮的抛光膏微碱性蓝宝石抛光液纳米二氧化硅抛光剂抛光低介电材料的抛光液硬盘磁头的抛光液硬盘磷化铟基板CMP抛光液用于大规模集成电路多层布线中钨插塞的抛光液用于单晶硅片化学机械抛光的抛光液用于多晶硅抛光的化学机械抛光液用于计算机硬盘基片化学机械抛光的抛光液用于抛光半导体封盖层的抛光液用于抛光多晶硅的化学机械抛光液（1）用于抛光多晶硅的化学机械抛光液（2）用于抛光多晶硅的化学机械抛光液（3）用于抛光多晶硅的化学机械抛光液（4）用于砷化镓晶片的抛光液用于硬盘NiP的电化学机械抛光的抛光液用于硬盘基片的抛光液用于锗晶片的抛光液有机碱腐蚀介质的稀土抛光液硫系化合物相变材料化学机械抛光的纳米抛光液硫系化合物相变材料氧化铈化学机械抛光液硫系相变材料化学机械抛光的无磨料抛光液纳米级抛光液锑化铟材料表面化学机械抛光液三、玻璃、陶瓷、晶体等无机材料用抛光剂铌酸锂晶体抛光液非水基磁流变抛光液电子玻璃的纳米SiO2磨料抛光液二氧化硅介质化学机械抛光液高效无划伤玻璃抛光液磷酸氧钛钾晶体CMP抛光液纳米二氧化硅磨料抛光液微晶玻璃加工用纳米二氧化硅磨料抛光液（1）微晶玻璃加工用纳米二氧化硅磨料抛光液（2）微晶玻璃抛光液硬脆材料化学机械抛光用无磨料抛光液用于玻璃材料的抛光液用于大尺寸金刚石晶圆超精密低损伤抛光的抛光液用于光学加工的水基磁流变抛光液用于介质材料平坦化的抛光液用于磷酸氧钛钾晶体的化学机械抛光液用于铌酸锂光学晶片研磨抛光的抛光液（1）用于铌酸锂光学晶片研磨抛光的抛光液（2）用于抛光低介电材料的化学机械抛光液用于抛光低介电材料的抛光液用于抛光低介电材料的抛光液用于硼酸锂铯晶体的化学机械无水抛光液用于软脆易潮解晶体的非水基无磨料抛光液用于微晶玻璃研磨抛光的抛光液314四、其他抛光剂用于表面抛光为10级的宝石圆球的抛光液车用多功能一体化清洁抛光剂环保型汽车划痕抛光膏交联型环保汽车抛光剂混合抛光液不含氟的抛光剂除藻型抛光液低光泽抛光剂（1）低光泽抛光剂（2）活性抛光剂木质地板、家具护理用的抛光组合物木质油精地板、家具上光保护剂（1）木质油精地板、家具上光保护剂（2）地板保养上光剂抛光砖、石材、人造石翻新用抛光剂抛光砖专用化学抛光剂皮革、石材增光保护剂石板材上光蜡石材保护剂石材镜面效果抛光膏石材上光蜡新型抛光剂用于二氧化硅介质的抛光液参考文献
