超大规模集成电路衬底材料性能及加工测试技术工程
刘玉岭等编著
冶金工业出版社
出版时间：
2002-1
出版社：
冶金工业出版社
作者：
刘玉岭等编著
内容概要
《超大规模集成电路衬底材料性能及加工测试技术工程》介绍了作为超大规模集成电路衬底材料硅的性能、硅单晶衬底的加工工艺以及相关的测试技术。
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2002-1
冶金工业出版社
刘玉岭等编著
《超大规模集成电路衬底材料性能及加工测试技术工程》介绍了作为超大规模集成电路衬底材料硅的性能、硅单晶衬底的加工工艺以及相关的测试技术。
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