聚焦离子束微纳加工技术
顾文琪
北工大
出版时间：
2010-8
出版社：
北工大
作者：
顾文琪
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无
内容概要
本书重点讲述聚焦离子束技术的原理；聚焦离子束系统的结构，包括离子源、离子光学柱体、图形发生器和精密工件台等；还探讨了聚焦离子束的有关关键技术。
图书封面
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2010-8
北工大
顾文琪
无
本书重点讲述聚焦离子束技术的原理；聚焦离子束系统的结构，包括离子源、离子光学柱体、图形发生器和精密工件台等；还探讨了聚焦离子束的有关关键技术。
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