微电子机械系统力学性能及尺寸效应 刘凯，韩光平 著 机械工业出版社 出版时间：2009-2出版社：机械工业出版社作者：刘凯，韩光平 著页数：209 图书封面 下载链接 微电子机械系统力学性能及尺寸效应PDF格式下载
